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2024半导体洁净技术论坛

中

Tue, 10 Dec 2024 08:30:00 GMT+08 ～ Wed, 11 Dec 2024 13:30:00 GMT+08

苏州中惠铂尔曼酒店 , SuZhou,JiangSu

汇捷通展览（上海）有限公司

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议题规划：

国家标准解读

国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》；
高级别半导体洁净室设计及生产车间建设规范与标准解读；
相关受控环境标准解读。

行业发展趋势解读

半导体材料应用技术及发展前景；
半导体设备应用技术及发展前景；
洁净技术发展趋势及应用需求。

技术发展与创新

空气中的尘埃粒子的检测/控制/及整体解决方案；
半导体/集成电路生产中防静电及除静电；
微电子洁净厂房的送风模式;
FFU在芯片制造环境与工艺良品率中的作用;
HVAC：温湿度控制；模糊控制在半导体厂洁净室温湿度控制中的应用；
工程设计与施工过程管理；
基于需求的洁净室人工智能管控节能；
数字化建设：智能控制系统；
洁净室建设解决方案：垂直领域痛点解决方案；

垂直领域的解决方案

控制表面污染-提高成品率；
半导体硅材料厂工艺设计中的污染控制技术；
半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析;
半导体洁净室AMC（气态分子污染物）控制方案;
化学过滤器在半导体洁净室新风净化中的应用；
高效PTFE复合滤材/过滤器生命周期的性能优化；
微生物污染控制/微生物污染源分析及解决方案。

碳中和与绿色发展

洁净厂房建设的节能环保；
过滤、分离；空气、废水、纯净水；
应对气候变化：洁净室的能源效率；
洁净区的消防与主动安全

“引进来”与“走出去”

“引进来”政策解读
“走出去”政策及实例解读

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科技

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